真空閥的主要特點要求有哪些?

 

 

真空閥是一種專門設計用于在真空系統(tǒng)中控制氣體流動的閥門。真空系統(tǒng)通常指的是壓力低于大氣壓的環(huán)境，這些系統(tǒng)廣泛應用于半導體制造、光學薄膜沉積、真空冶金、科學研究以及其他需要高度清潔和控制的工業(yè)領域。

 

真空閥的主要特點要求如下：

 

低泄漏率：真空閥須具有極低的氣體泄漏率，以保持真空系統(tǒng)的壓力穩(wěn)定。這意味著閥門的密封性能要非常高，通常使用金屬密封或特殊橡膠密封。

 

清潔度：真空閥的材料和表面處理須非常干凈，以防止釋放出顆粒物或化學污染物，這些污染物可能會影響真空室內的精密工藝。

 

耐腐蝕性：由于真空環(huán)境中可能存在各種腐蝕性氣體，真空閥的材料需要具有良好的耐腐蝕性。

 

低放氣率：真空閥在制造過程中需要特別注意，以減少材料表面的放氣，即材料在真空中釋放吸附氣體的能力。

 

機械強度：真空閥需要能夠承受真空環(huán)境下的機械應力和熱應力，特別是在高溫或低溫條件下。

 

驅動方式：真空閥可以采用手動操作，也可以配備電動、氣動或電磁驅動裝置，以實現(xiàn)遠程控制或自動化操作。

 

尺寸和接口：真空閥的尺寸和接口需要根據(jù)真空系統(tǒng)的具體要求來設計，包括法蘭連接、螺紋連接或卡箍連接等。

真空閥關閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。